貨號

型號

主機規格

X1 軸測量范圍

垂直移動(dòng)

花崗巖基座尺寸

525-481DC-1

SV-C3200S4

100 mm

300 mm

600×450 mm

分析軟件

FORMTRACEPAK V5.4/E SVC/CS

測量范圍

X1 軸

100 mm

檢出器

800 μm、80 μm、8 μm

類(lèi)型

X1 軸

反射型線(xiàn)性編碼器

檢出器

差動(dòng)電感式

分辨力

X1 軸

0.05 μm

檢出器

0.01μm（800 μm）

0.001 μm（80 μm）

0.0001 μm（8 μm）

直線(xiàn)度

（0.05＋L/1000）μm  L為驅動(dòng)長(cháng)度（mm）

（以X1軸為水平方向上）

測針上／下運作

弧形移動(dòng)

測針?lè )较?/span>

向下

測力

0.75 mN

測針針尖形狀

60°、R2 μm

測量范圍

X1 軸

100 mm

Z1軸（檢出器）

60 mm

類(lèi)型

X1 軸

反射型線(xiàn)性編碼器

Z1軸

圓弧光柵尺

分辨力

X1 軸

0.05 μm

Z1軸

0.04 μm

直線(xiàn)度

0.8μm/100 mm　（以X1軸為水平方向上）

指示精度

X1 軸

±（0.8＋0.01L）μm  L為驅動(dòng)長(cháng)度（mm）

（20℃）

Z1軸

±（1.6＋｜2H｜/100）μm

H：基于水平位置的測量高度（mm）

測針上／下運作

弧形移動(dòng)

測量方向

向前/向后

測針?lè )较?/span>

向上/ 向下

測力

30 mN

跟蹤角度

向上

77°（依表面粗糙度而定）

向下

83°（依表面粗糙度而定）

*使用配置的標準測頭

測針針尖

*半徑

25 μm

材料

硬質(zhì)合金

垂直移動(dòng)

Z2 軸(立柱)

300 mm

長(cháng)度基準

Z2 軸

ABSOLUTE 線(xiàn)性編碼器

分辨力

Z2 軸

1 μm

X1 軸傾角范圍

±45°

驅動(dòng)速度

X1 軸

0～80 mm/s外加手動(dòng)

Z2 軸

0～30 mm/s外加手動(dòng)

測量速度

0.02～5 mm/s

基座尺寸

600×450 mm

基座材料

花崗巖

尺寸

主機

996×575×966 mm

控制器

221×344×490 mm

遙控箱

248×102×62.2 mm

重量

主機

140 kg

控制器

14 kg

遙控箱

0.9 kg

使用溫度范圍

15～25 ℃

使用濕度范圍

20～80 %RT　　但是不能結露

保存溫度范圍

-10～50 ℃

保存濕度范圍

5～90 %RT　　但是不能結露

電源

100～120V、200～240 V±10%、AC50/60 Hz

消耗功率

400W